2004/1/28神奈川県の裾野市という所で起きた事故だ。半導体工場の爆発事故だ
工場内にある、拡散炉という設備での事故だ
点検の為、炉は過熱状態にされていた。温度も自動調節されている状態だった
但し，製品は炉内を流れてはいなかった
装置は，冷却用の冷媒が流れ混むようになっていた
冷媒の流れる量は，ローターメーターという流量計で検知され，万一流量が低いと自動的に炉の加熱源は停止されるようになっていた
ところが，肝心のローターメーターのフロートと呼ばれる部品が固着して正常な流量を示していなかった
本来なら流量が低ければ自動的に自動インターロックで炉の熱源を止め安全な状態になっているはずだった
ところが、ローターメーターの故障で、あたかも冷却用の冷媒は流れ込んでいる信号が出ていた。
装置は，冷媒が流れていると判断し，熱源を増加させたことにより炉の温度が上昇し付近のケーブルなどが燃え始めた
しばらくして，炉が発火した
高温になれば，電気ケーブルは燃える。塩化ビニルやポリエチレンなどのプラスチック材料が被覆に使われているからだ
ケーブルは可燃物として考えておく必要がある。火災になりたく無いのであれば，リスクのあるところは難燃性のケーブルを使うことだ
難燃性ケーブルは、P(燐）という物質が混入され燃えにくくなっている
火災リスクのあるところは，積極的に難燃性ケーブルを検討して欲しい
最近も半導体工場で事故が多発している。過電流による事故だという。
難燃性ケーブルの採用も考えて欲しい