半導体工場での火災で社会は色々な影響を受けている
今や半導体は、産業の米だからだ
最近の半導体工場での火災事故は、事故速報はあれど、その本質的な事故の原因は全く公開されていない
事故の情報が公開されなければ、同じような事故はくりかえす

今回、公開されている半導体工場でダクト火災を紹介する
http://www.shippai.org/fkd/cf/CC0200087.html
台風被害で停電が起きたが工場は安全に停止した。その後再稼働するときに事故は起きた事故事例だ
半導体工場では、モノシランガスという空気に触れると発火するガスを取り扱っていた
クリーンルーム内で半導体を製造し、残留ガスは排気ダクトから常時希釈され排気されていた
ところが、突然停電が起こり排気ダクト内でのガスの流れは止まった
時間の経過とともに、外部から少しずつ空気は流れ込んでいた。停電でも、排ガス設備は動くよう設計されていなかったからだ
しばらくして、電気が戻り、再稼働を始めたところ排ガス装置付近で発煙が起こった。
排ガスダクト部に、空気が漏れ混んでいたので空気と反応しモノシランガスが燃焼したのだ
異常に気づき、作業員は窒素でダクト内のパージを行った
ところが、トラブル時の作業要領書は無かった為、十分なダクト内換気が行われなかった。
中途半端な換気のまま、確認のため仕切り板を開けたところ再び空気がダクト内に混入してしまった
残留していた発火性ガスが空気に触れて本格的に発火してしまった事故だ

排気ダクトなどで排ガスが停電などで中途半端に滞留して、再起動時に除去が不十分だと事故が起こると言うことだ

自分の工場で停電が起こったとき、排気ダクト系が安全か検証して欲しい
停電時の排気系の電源バックアップも検討して欲しい